Ремонт криогенных насосов на установки Varian m2i и Endura PVD

Ремонт криогенных насосов ON-Board 8F p/n 8116143G001 s/n K 06551783; p/n 8116005G004 s/n L 08822132; p/n 8116005G004 s/n H 04260425